中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 150c #9379206 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 150cは最先端のマスクアライナーです。リソグラフィ、フォトレジスト開発、エッチングを可能にする高度な機械で、様々なマイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスに対応しています。MICROTEC MA 150cは、マニュアル用の独立したクリーンルーム互換プロセスチャンバー、および自動化された露出および露出後のアプリケーションを備えた2チャンバー設計を備えています。KARL SUSS MA 150 Cは、剛性鍛造アルミ構造を有し、フルワーク高さ1。5mの高剛性サポートを提供します。この構造はまた、熱と光吸収のための均一な黒いエポキシでコーティングされています。クッション性に優れたY-ZとΘ-Φ軸は、高精度なアライメントを提供し、最大20kgの高容量を維持します。フルワークエリアは、203mm x 203mmまでの平面に対応できます。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 Cは、2つのインキャビネットレーザーソースとスキャニングミラーからなる統合レーザーアライメントシステムを備えており、フォトマスクの位置決めにおいて高い精度を実現しています。利便性のために、それはまた数秒以内にフォトマスクおよびウェーハフレームの配置そして交換を可能にする半自動4トラックウェーハおよび露出ハンドラーを含んでいます。リソグラフィに加えて、カールサスMA 150cには全自動の開発ステーションと露出後のスロットダイコーターが装備されています。開発ステーションとスロットダイコーターにより、さまざまなタイプのフォトレジストを正確に蒸着できます。露出後、マスクは自動的にアライナーに戻され、エッチング処理が可能になります。MA 150cは高スループットを目指して設計されており、0。2ミクロンのマスクアライメント精度を平均φ以上φすることができます。フルオートメーションは提供されていますが、使いやすいユーザーインターフェイスも備えており、機械のプロセスを簡単に制御および監視できます。MA 150 Cは、15°Cから35°Cまでの統合ペルティエモジュールを介して温度制御され、一定の温度を維持し、一貫した結果を保証するように設計されています。全体として、MICROTEC MA 150 Cマスクアライナーは、完全オートメーションとユーザーフレンドリーな制御インターフェースを組み合わせた、高精度で正確なマスクアライメントを提供する最先端のマシンであり、マイクロエレクトロニクスデバイス製造に最適なシステムです。