中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9395014 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、微細加工プロセス中にナノ構造を基板に整列および露出させるために一般的に使用されるマスクアライナーです。ナノファブリケーションパターン、電子ビーム部品、半導体部品などの構造物を基板に露出させることができます。MICROTEC MA150は、マスクと基板の正確なアライメントと、ナノ構造に必要な領域の正確な露出を提供します。KARL SUSS MA 150は、微細加工に最適なツールです。高い位置精度と再現性に優れた高精度マシンです。固定ビームスプリッターとステッピングモータースキャン装置を使用して、マスクと基板を整列させ、所望のナノ構造を正確に露出させます。また、精密な処理パラメータを確保するための制御ソフトウェアも内蔵しています。MA-150は優れた温度制御を備えており、露出する材料に応じて、ミリ秒から数分までの露出時間を提供します。このマシンは、プログラム可能な自動露出を提供し、複雑なパターンを製造するために異なる露出シーケンスをサポートしています。さらに、オープンアーキテクチャ設計により、他のコンポーネントをシステムに統合することができます。MA150には、300-Wキセノンアークランプ、150-Wタングステンランプ、コヒーレントレーザーダイオード（CLD）レーザーダイオード、レーザー直筆（LDW）露光ヘッドなど、さまざまな露光源が付属しています。露出源はぬれた版と乾燥した版の間で自動的に転換することができます。アライメントユニットは、1ミクロンの分解能で正確な露出を可能にし、アライメントチャンバーを密閉して真空を維持します。KARL SUSS/MICROTEC MA 150は、半導体材料、フォトレジスト材料、複合材料など幅広い材料に対応しています。このマシンは、標準的なマスクと多くの高度なマスキング技術を使用することができます。このツールは、さまざまなレジスト開発ソリューションもサポートしており、複数のプロセスを単一の露出シーケンスに統合することができます。KARL SUSS MA150は、小型電子部品を製造するための費用対効果の高いユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。精度と精度により、微細加工プロセスに最適なツールです。アセットは、さまざまな露出源や材料をサポートするように設計されており、構造の正確なアライメントと露出のための効率的なプロセスをユーザーに提供します。