中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9390593 を販売中

ID: 9390593
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligner, 5" Alignment type: Top side alignment and BSA Cassette to cassette USH-350 DS Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、マイクロマシニング、リソグラフィー、およびマスク登録アプリケーションに費用対効果の高い効率的なソリューションを提供するために設計された最先端のマスクアライナーです。基板にパターンを移すためのフォトマスクの超精密アライメントが可能です。精密光学系、マイクロエレクトロニクス、ライフサイエンス、コンシューマープロダクトなどの幅広い業界に理想的なMICROTEC MA150は、幅広いプロセスや材料に対して柔軟でマスクレベルの精度を提供します。KARL SUSS MA 150は、さまざまなタスクを実行できる強力なシステムです。5メガピクセルのカメラを搭載し、解像度1 μ mの画像を撮影できます。また、5 μ mの最小ステップサイズの2つの精密ステージを装備し、基板上のマスクとマスクの正確なアライメントを実現します。さらに、コンパレータMA150カメラアシストモードによるアライメントプロセスや、4チャンネルのビデオプロジェクターや4ポストエッジ検出器などのアライメントアクセサリを支援するさまざまなイメージングシステムが付属しています。MA-150は、さらにそのパフォーマンスを高めるために、さまざまな環境ユニットと組み合わせて使用することもできます。例えば、真空ユニットは、プロセス中にマスクや基板を整列させるためのクリーンで安定した環境を提供することができます。さらに、プロセスチャンバーの水分および酸素含有量を制御できるNC4ハイドロユニットをカールサスMA150に接続することで、汚染の発生を低減することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA150はコンパクトで精密で使いやすいです。このシステムはグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されており、基板サイズ、露光時間、パス数など、幅広い設定を簡単にプログラムできます。システムには、特定のプロセスのジョブ設定プリセットの組み込みライブラリも付属しています。結論として、MA 150は、基板上にパターンを転送するためのフォトマスクの超精密なアライメントを提供することができる強力なマスクアライナーです。高解像度カメラ、精密なステージ、さまざまなイメージングシステムにより、さまざまな業界での使用に最適です。さらに、プリセットされたジョブ設定と環境ユニットの組み込みライブラリは、パフォーマンスをさらに向上させます。
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