中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9389834 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150はプロフェッショナルグレードの自動マスクアライナーで、集積回路の非常に細かく複雑なファブ空間で正確なフォトリソグラフィ動作を行うように設計されています。このアライナーは堅牢で正確でモジュール式で、さまざまなユーザーニーズにカスタマイズできます。MICROTEC MA150は完全に自動化されたフォトリソグラフィ装置で、安全で信頼性の高い真空密封型ウォブルフリーチャンバーを備えており、1〜99枚のウェハーマスクからウェーハの正確で再現可能なアライメントと均一な露出を提供します。また、低力力機械式サブシステムを採用し、振動しやすい環境でも正確な動作が可能です。KARL SUSS MA 150は、24ビットのナノメートルステージ分解能とインテリジェントプロセスコントロールユニットを内蔵しており、サブミクロンのアライメント精度だけでなく、バンディングやその他の画像不完全さのない安定した正確な露出制御を可能にします。また、高感度な光学モジュールを搭載し、焦点距離の再現性が高い小面積の測定が可能で、マスクやウエハの正確な位置決めが可能です。KARL SUSS/MICROTEC MA150は、取り外し可能なステージも備えており、ユーザーは好みの仕様に従って簡単にマシンを適合させることができます。このユニットは、ウェットエッチング、フォトレジストの開発と硬化、真空スパッタリング、熱処理などのさまざまな技術を可能にします。このツールは、バッチチャンバー技術を使用して厚いウェーハを処理するためにも使用できます。このアセットは、厚さ1。5 μ mまでのフィルムと最大1。7 nmのライン幅のマスクを提供することができます。さらに、このモデルはオンザフライレチクルを可能にし、フォトリソグラフィープロセス中にユーザーが自由に設計変更を行うことができます。MA150はまた、フォトリソグラフィープロセスのプログラミングのためのレシピの包括的なライブラリをサポートしています。また、この機器は、校正モニターを内蔵した自動校正のための柔軟なオプションを提供し、スムーズで正確な処理を保証します。さらに、MA 150はMICROTEC製品ラインの他のシステムと互換性があり、1つのシステムから別のシステムへのレシピのワンクリック転送を可能にし、効率的で柔軟な生産ソリューションを提供します。