中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9384739 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、半導体デバイス製造におけるリソグラフィープロセス用に設計された完全自動マスクアライナーです。微小電子回路パターンをウェーハ表面に伝達するために使用されます。MICROTEC MA150は、最大15ミリワット（mW）の露出エネルギーを、石英光学窓を介してレジストカバーウェーハに供給します。KARL SUSS MA 150は、高いアライメント精度、広い視野、高スループットなど、さまざまな機能を提供します。マスクとウェーハの正確な登録とアライメントのために、装置には高解像度の視覚アライメントシステムとオプションの自動アライメントユニットが装備されています。KARL SUSS MA150は、高いインデックス水晶光学窓、0.1mWから15mWまでの露出エネルギーレベル、波長535〜650nmの光源、および7インチウエハをカバーする広い視野を備えています。このマシンは、高い露出精度と再現性、高いスループット、および低価格の半導体露光プロセスに最適化されています。MICROTEC MA-150は、ウェーハ全体に均一なフォトレジスト露出を確保するために、50°Cまでの温度を含む幅広い温度で動作することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA 150は使いやすく、使いやすいタッチスクリーンディスプレイと、プログラムと保存が可能な様々な露出レシピを備えています。このツールは、ダークフィールドおよびブライトフィールドイメージングも可能であり、欠陥検出を容易にすることができます。露出パターンはメモリに保存され、繰り返し露出のためにリコールすることができます。また、MICROTECは、保存された露出パターンを変更するために使用できるオプションの露出発生器ソフトウェアも提供しています。MA150は、高性能なアライメントとリソグラフィー資産で、信頼性の高い再現性のある結果を提供し、要求の厳しい正確なリソグラフィープロセスを必要とするアプリケーションに最適です。小規模および大規模集積回路製造のための非常に汎用性の高い強力なツールです。