中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9269842 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、フォトリソグラフィ用途向けに設計された自動マスクアライナーです。高精度で精密な装置で、50ナノメートルまでの小型で詳細な機能を生成することができます。MICROTEC MA150は、優れたアライメント精度と再現性を提供し、一貫した信頼性の高い結果を実現します。KARL SUSS MA 150は、高解像度のマルチプロジェクション光学ヘッドと角度付きフィルムマスク面を備えた広い露出領域(最大7 x 8インチ)を備えています。マルチプロジェクション機能により、さまざまなジオメトリを使用してアライメントの目的を達成できます。また、高出力レンズと3つの異なるクラスのレーザー(AlGaAs、 HeNe、またはAr-ion)を備えています。このシステムは、接触、近接、ステッパー露出など、あらゆる種類のフォトリソグラフィック露出を実行するようにプログラムすることができます。KARL SUSS/MICROTEC MA 150は、独自のビーム分割技術を使用して、直接露出印刷プロセスを実現しています。本技術により、誤差のない基板に対してマスクの正確なアライメントを実現します。機械はまた異なった方向の複数の露出を達成することができます。これにより、より短い時間で複雑な特徴を持つパターンを生成することが可能になります。このツールは使いやすく管理できるように設計されています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、オペレータは資産パフォーマンスを簡単に制御、カスタマイズ、監視できます。露光時間、レーザーパワー、マスクタイプなどのコンピューター制御の設定は、幅広い実験やアプリケーションの要件を満たすように調整することができます。全体として、KARL SUSS MA-150は、基板へのマスクの迅速かつ正確なアライメントを必要とするフォトリソグラフィ用途に最適です。このモデルの自動制御、さまざまな露出モード、および使いやすいインターフェイスにより、高効率で信頼性の高いイメージングソリューションとなります。
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