中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250236 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、大面積フォトリソグラフィ加工用に設計された精密マスクアライナーです。12〜50cmのサイズ範囲で基板を露出してパターン化するように設計されており、特徴サイズはナノメートルまでです。MICROTEC MA150は、最先端のリソグラフィ技術と、連続スキャン、ステップ/スタート、交互のリピートスキャンなど、幅広い露光技術を採用しています。KARL SUSS MA 150は、8軸モーションコントロール装置を備えたモジュラー設計です。最適化された制御システムと高精度動作能力を兼ね備えており、高精度、再現性、スループットを実現します。このユニットは、さまざまな交換可能な光学系で複数のマスクステージに対応するために拡張することができ、さまざまなフォトリソグラフィ用途に最適です。KARL SUSS MA150は、レンズ操作を介してダイナミックな焦点とパターン照明を提供し、均一性や線幅などの重要なプロセス変数を厳密に制御して一貫した露出パラメータを提供します。また、オートキャリブレーションルーチンも備えており、精度とスループットを向上させます。MICROTEC MA-150は、自動登録、自動ズーム、自動センタリングなど、光学および基板処理のためのいくつかの組み込み機能を提供しています。このユニークなツールは、優れたオーバーレイ精度を提供し、露出時間を短縮しながら、不均一で不規則な表面を処理する柔軟性を提供します。MA150は、リアルタイム監視とデータ収集のための高解像度充電結合デバイス（CCD）イメージングアセットを備えています。このモデルは、標準のリモートコントロール、イーサネット、およびUSBインターフェイスにも対応しています。KARL SUSS/MICROTEC MA150は、フォトリソグラフィ機器およびサービスのリーディングプロバイダーであるMICROTECによって製造されています。この装置は、科学研究およびデバイス製造のユーザーに信頼性の高い高性能ソリューションを提供するように設計されています。MICROTEC MA 150は、高精度、高スループットのリソグラフィ作業に最適です。