中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250235 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、精密フォトリソグラフィのためにエレクトロニクス業界の専門家が使用するプログレードマスクアライナーです。一連のパターン化されたフォトマスクを高解像度マイクロストラクチャーに繰り返しアライメントし、露出させるために使用される高精度の機器です。MICROTEC MA150は、高精度のステッピングモータ、光電エンコーダ、電動マスク翻訳、高度なアライメントシステムなど、多くの高度な機能と機能を搭載しています。このユニットの高分解能光学機器は、自動フォーカシングメカニズムを使用して、ダイ領域全体に非常に正確なマスク配置を提供します。その精密制御により、フォトマスクの数ミクロン以内に正確にアライメントすることができます。自動化された6軸モーションコントロールにより、ステッピングモーターを使用して、フォトマスクの回転、変換、および金型全体の直線移動を正確に制御します。これにより、ダイ上に正確なパターン配置が可能になり、露出ごとに最高の精度を保証します。KARL SUSS MA 150は、ユーザーに幅広い高度な機能を提供します。ウェーハステージングユニットは、ウェーハを露出チャンバに配置する方法を最適化するために、調整可能なパラメータを備えた堅牢な設計を備えています。このマシンはまた、ダイ上のマスク配置位置を表示するテーブル上の色分けされたアライメントインジケータを含みます。このツールはまた、完全に自動化された検査およびマシンビジョン資産を内蔵しており、ダイ内の基板のずれや欠陥を検出して報告します。MA-150はユーザーに完全な露出の正確さを保障する多くの用具を与えます。マニュアルアライメントを支援するLED顕微鏡を提供し、また、次のウェハで保存して使用する露出条件で露出画像をキャプチャするために使用される統合された高解像度カメラを備えています。KARL SUSS MA150には、マスクローダーやマスクストレージスタンドなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。MA150は、単一の露出設定で最大7レベルの露出を処理するように設計されているため、困難な仕事を引き受けるために構築されています。また、さまざまなユーザー定義の設定により、露出パラメータを完全に最適化することもできます。これにより、精密露出とアライメントのための信頼できるツールを探している人にとって理想的な選択肢となります。