中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9248592 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、マイクロエレクトロニクス業界の基板上の材料のフォトリソグラフィックパターニングを目的とした高精度マスクアライナーです。装置の設計は、光に敏感な（フォトレジスト）テンプレートの基板への光アライメントの原理に基づいています。MICROTEC MA150システムでは、2つの独立したステージが使用されます。整列ステージは、オペレータが基板とフォトマスクを自分自身に正確に整列させることを可能にする方法で機能します。これは、基板とフォトマスクのx、 y、 z軸を正確に動かすことができるハイデンハインのペアによって達成されます。このユニットの設計は、センサーと超精密な手動調整を使用して、基板の最終アライメントと位置決めを行います。これにより、基板上にフォトマスクを配置する際に、オペレータはサブミクロンの精度を得ることができます。このマシンには、アライメントプロセスの補助となるウエハアライメントレーザーも内蔵されています。このレーザーを使用すると、基板を迅速に見つけてローカライズし、正確なアライメントを行うことができます。さらに、高精度で最大のアライメント再現性を備えているため、少量・大容量の生産運転にも使用できます。高いフォトマスク再現性を確保するため、KARL SUSS MA 150は産業用グレードのレーザーを実装しています。このレーザーはフォトマスクの1ミクロン以下の反復可能なライン変位を作り出すことができます。これにより、大型基板ウエハでも高精度を実現できます。MICROTECのMA-150モデルはまた異なったサイズおよび厚さのさまざまなウエハを処理する柔軟性を提供するフォトレジスト材料の広い範囲を受け入れることができます。また、マスクアライナーは、基板全体に均一な露出を達成することができます。最後に、MA 150システムには、プロセスの完全な制御を可能にする高度なソフトウェアが装備されています。このソフトウェアは、露出線量と露出時間を制御するために使用でき、多層パターニングなどの複雑なプロセスをはるかに簡単にします。さらに、高精度プロセスのためのレジスト層の厚さを制御する能力を提供します。