中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9229271 を販売中
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ID: 9229271
Mask aligner
Top side only
Power supply: CIC 1000
PC type: TYAN / FN 9160015
Relay interlock box
TSA microscope
TSA objectives: 5x / 0.15, 10x / 0.30, 20x / 0.40
COGNEX 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400 HP
Pre-aligner
Mask holder
Voltage: 230 V
Lamp: 350 Watts bulb
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造を目的とした薄型基板アライメント用の汎用性と信頼性の高いマスクアライナーです。MICROTEC MA150はモジュラー構造に基づいており、レンズやカメラなどの光学系を収容するメインフレームとサンプルプレートで構成されています。オプティクスとメカニズムは、サンプルプレートとマスクによって正確に整列されたウェーハの間を移動します。KARL SUSS MA 150の精密光学システムは、正確なステッピングモータによって駆動され、X、 Y、 Z軸、 θ軸を使用して、それぞれの位置合わせ時にサンプルチャックとマスクチャックを正確に移動させます。また、パターンのずれを最小限に抑える独自のマスク・ツー・ウェーハ・アライメント技術を採用し、高度な設計により正確なアライメント精度を維持します。MICROTEC MA-150は、性能面でも、最大チャック・ツー・チャック移動15mmで、0。5ミクロンまでの高精度を実現しています。最大露光面積4。5mm x 6。0mm、 X軸とY軸の両方で24。5°の最大補正を備え、幅広い露光機能を備えています。さらに、KARL SUSS/MICROTEC MA150は、ウェーハのサイズと複雑さに応じて、1時間あたり最大8個の高いスループットを提供します。さらに、MA150は堅牢な構造を持ち、洗練された人間工学により、さまざまな産業用途に適しています。KARL SUSS/MICROTEC MA 150のモジュラー構造は、メンテナンスと修理を容易にし、顧客にスペアパーツとサービスを提供します。結論として、MA-150はマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に適した信頼性の高い汎用性の高いマスクアライナーです。高精度、幅広い露光機能、高スループットを提供し、さまざまなアプリケーションに最適です。
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