中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9203271 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 9203271
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligner, 6" Cassette to cassette.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Alignerは、集積回路および関連デバイスの製造におけるフォトリソグラフィ用マスクの正確な整列に使用されるデバイスです。これは完全に自動化された機器で、ほぼすべてのデバイスのサイズやフィーチャー形状のハイスループット生産に最適です。MICROTEC MA150は、最大解像度0。7ミクロンで、最も正確なマスク間ウェーハアライメントを実現するように設計されています。QuadraFlux™ Quadri-Beamイメージングシステムを使用して、マスクとウェーハが非常に近くに配置されていることを確認します。この高解像度イメージングユニットは、マスクとウェーハのずれを補正する動的6軸アライメントマシンによってサポートされています。KARL SUSS MA 150は、複数のレイヤーやパターンのサブレイヤーなど、最も複雑なマスクのデザインを処理することができます。その動的アライメントツールは、複雑さに関係なく、マスクとウェーハの理想的な位置決めを可能にします。これにより、各デバイスが最高の精度で製造されることが保証されます。KARL SUSS/MICROTEC MA 150は、正と負の両方のトーンレジストを直接露出することができ、非常に正確で精密な部品の生産を可能にします。KARL SUSS MA150は、精密な光アライメント機能に加えて、パルスまたはCWレーザー出力も備えており、UVからIRまでのプロセスで使用できます。機械の外的な冷却資産はイメージングプロセスの最も高い均等性を保障するように設計されています。カールSUSS MA-150には、安全動作のための蓋インターロックモデルや、ウェーハサイズ検証機能など、ウェーハアライメントを自動的にチェックする安全機能も多数搭載しています。KARL SUSS/MICROTEC MA150 Mask Alignerは高精度で信頼性の高い機械で、高品質の集積回路デバイスを作成する際に比類のない精度をユーザーに提供します。MA-150は多くの高度な機能を備えており、UVからIRまで、比類のない精度で部品を製造することができます。高リゾリューションのイメージ投射装置、動的6軸の直線、外的な冷却装置および安全特徴はこの機械を精密で、信頼できるマスクの一直線に並ぶ適用のための理想的な選択にします。
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