中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293830872 を販売中
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ID: 293830872
ヴィンテージ: 1993
Mask aligner
Objectives: 3.2x, 5x, 9x
Power supply: 220 V, 1200 VA
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、フォトリソグラフィ用途向けに設計された多目的自動マスクアライナーです。このマスクアライナーは、高分解能の性能を提供し、ウエハー、基板、およびその他のフォトリソグラフィープロセス(TSV)やフォトマスクなどにパターンを転送するために使用できます。サブミクロン、形状、ライン、位置合わせなどの高精度なアライメントを基板上で実現できます。MICROTEC MA150マスクアライナーは、コンパクトな設計と精密測定機構を備えており、高い精度と再現性を実現しています。248nm〜365nmの波長範囲を持つ高度な紫外(UV)光源を使用し、プログラム可能なフォーカス戦略により、幅広い露光設定が可能です。KARL SUSS MA 150マスクアライナーには、高い精度を確保しながらアライメント処理をリアルタイムで表示できるオンボードカメラシステムも搭載しています。このカメラシステムは、マスクと基板のわずかなずれも補償します。KARL SUSS/MICROTEC MA 150は、ウェーハ、基板、試験基板の複数のサイズをサポートし、多くのフォトリソグラフィープロセスに対応する汎用性の高いツールです。統合されたソフトウェアにより、オペレータはCAD/GDSII設計を簡単にインポート、分析、修正できます。さらに、自動機能検出、パラメータ最適化、および簡素化されたユーザーインターフェイスを備えています。KARL SUSS/MICROTEC MA150は、産業環境において堅牢な性能を発揮するように設計されており、温度変動、ほこり、化学的暴露、衝撃および振動に耐えるようにテストされています。これにより、KARL SUSS MA150プロセス制御アプリケーションや生産環境に最適です。その包括的な機能セットで、MA150マスクアライナーは、多くのフォトリソグラフィープロセスに適しています。
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