中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293775032 を販売中
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ID: 293775032
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
Mask aligner, 6"
Cassette to cassette
Automatic wafer handling system
Lamp house: 1000 W (Hg) with CIC1000 Power supply
OSRAM 1000 with lamp
Pre-alignment
Semi-automatic front side alignment
Joystick controller
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、高度で高精度なマスクアライナーで、所有コストが低く、研究開発ラボや大学、小規模生産施設に最適です。MICROTEC MA150は、使いやすいソフトウェアで正確なアライメント制御を提供し、マスクの配置や基板のずれを補正するための重要なパラメータを迅速に調整できます。KARL SUSS MA 150は、あらかじめ配置されたマスクと基板を使用して、ユーザーの介入を必要とせずに迅速かつ正確に整列させます。アライメントの精度は、2つのマイクロメーターねじとレチクル段の精密な調整によって決定され、装置は正確なアライメントを生成し、登録ミスを最小限に抑えることができます。さらに、KARL SUSS/MICROTEC MA 150は、4インチおよび6インチのウェーハ、ガラス、薄膜など、幅広い基板にわたって再現可能なアライメントが可能です。マスクアライメントシステムは、エアベアリングステージも備えており、非常に滑らかで直線的な動きを提供し、精度と正確な再現性を向上させます。統合されたマイクロプロセッサコントローラを使用して、レチクルステージの動きを正確かつ繰り返し制御し、可能な限り最高の精度のDrange結果を得ることができます。MICROTEC MA-150は、自動画像認識機能とオートフォーカス機能を備えた高解像度表示ユニットを備えており、マスクや基板上の特徴を素早く正確に認識することができます。このツールには、ユーザーがアセットによって行われた位置と角度の調整を手動で調整できるいくつかのソフトウェア機能も含まれています。これにより、ユーザーはモデルから可能な限り最高の精度を得ることができます。KARL SUSS/MICROTEC MA150マスクアライメント装置は、統合された真空チャック、ウェーハボウ、加熱基板チャック、基板スペーサ、および高度な光学計測用のオーバーヘッドマウント175Wエリプソメータを含むアクセサリを完全に補完することができます。この高度なマスクアライメントシステムは、研究および生産レベルのアプリケーションの両方の要求の厳しいニーズを満たすように設計されており、さらに高いレベルのパフォーマンスを得るために、さまざまな追加のユニットコンポーネントと統合することができます。
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