中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293695701 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Alignerは、集積回路をパターン化するために、フォトレジストマスクを基板に正確に揃えて露光するように設計された高精度フォトリソグラフィ装置です。MICROTEC MA150は、シリコン、ガラス、石英、誘電体などの硬い基板に加え、ポリビニリデン塩化物（PVDF）、ポリウレタン、ポリエステルなどの柔軟な基板をサポートする最大4 「x 4」の基板テーブルを備えています。アライナーには、最大4つの4 「x 4」マスクを保持できるマスクカセットと、5ポジションギヤ駆動のサンプルチャックを備えたマスクホルダーが含まれています。カールサスMA 150は、リニアエンコーダによって駆動される電動3軸アライメントステージを持ち、位置決め精度は最大0。1 µmです。また、4X、 10X、 20Xの3つの対物レンズを備えたオートフォーカス方式も備えており、50ミクロンの壮大な視野を提供します。アライナーの光学ユニットは、0.2µmのインターピクセル分解能、200msから10000msの可変露光時間、9mW/cm2のLEDパワー、最大8J/cm2の露光範囲を備えています。マスクアライナーMA-150線形シンクロマイクロスキャン技術を使用して、基板を最小線幅1 µmで露出させます。UV、 Near-IR、 Eビームフォトレジストに適しており、操作を簡素化し、DOS、 UNIX、 Windowsプラットフォームと互換性のある自動フロントエンドコントロールマシンを備えています。このツールは、ユーザーがプログラム可能なモーションコントロールアセットを使用して基板の処理とアライメントを行うための高精度の真空サブシステムを提供します。MA150 Mask Alignerは、ウェーハプロービング、マイクロバンプ平坦化、高アスペクト比UV書き込み、RGBオートカラー感光リソグラフィ、およびその他の微細加工プロセスに使用できる信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いフォトリソグラフィーソリューションです。堅牢な構造と直感的な操作モデルにより、コスト効率の高いプロトタイピングとパイロット生産に最適なツールです。