中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293603359 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 293603359
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligner, 5" Alignment type: Top side alignment and BSA Cassette to cassette USH-350 DS Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150は、MICROTECが開発したUVマスクアライナーです。半導体リソグラフィ用の高性能ツールであり、幅広いフォトリソグラフィ用途向けに設計されています。MICROTEC MA150は、精密アライメントのために構築され、その動きの全範囲にわたって高精度です。KARL SUSS MA 150は、さまざまなコンポーネントを使用して構築されています。その設計の中心には、特許取得済みのマイクロビーム技術があり、高精度の光学システムと統合されています。この組み合わせにより、MICROTEC MA 150はサブミクロンレベルのアライメント精度を実現します。この精度は、動きに加えてビームサイズや形状を細かく制御できる独自の「マークII」ビームステッパーによってさらに高められています。MA 150も信頼性のために設計されています。機械のすべての部品は長期使用のために造られ、あらゆるMA150は郵送物の前にテストされる工場です。これにより、すべてのKARL SUSS MA-150ユニットが最初から可能性を最大限に発揮できるようになります。MICROTEC MA-150にはユーザーフレンドリーなGUIが付属しており、システムのあらゆる側面を制御できます。パターンをさまざまな形式で転送する機能など、パターン関連のさまざまな機能が含まれています。これにより、複数のマスクやフィールドにわたるパターンのスケーリングと複製が大幅に容易になります。また、ウェハーマークの動きMA-150追跡し、特徴間距離を高精度に測定することも可能です。全体として、KARL SUSS MA150は、半導体リソグラフィおよびフォトリソグラフィ用途向けの強力なツールです。その高精度で信頼性の高い設計は、精密マイクロエレクトロニックやその他の関連部品を扱う専門家にとって理想的な選択肢です。さらに、ユーザーフレンドリーなGUIと幅広いパターン関連機能により、さまざまなタスクに最適です。
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