中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9190410 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 150 Mは、様々なパターン生成、フォトリソグラフィープロセス、精密アライメントタスクに使用される多目的マスクアライナーです。高解像度の接触露光、近接露光、レイヤーアライメント、3Dアライメントが可能です。マスクアライナーには、統合された精密位置決めステージを備えた高度な制御機器、8 「x 8」石英露光源、XYアライメント用の高精度CCDセンサー、およびXYアライメントコンピュータが含まれています。マスクアライナー内の精密位置決めシステムは、優れた再現性、精度、安定性を提供するように設計されています。圧電式アクチュエータを使用してX、 Y、 Z方向を正確に補正します。このユニットを使用すると、露光プロセス中にワークピースを正確に整列させ、正確に配置することができます。露光源は、作業現場で均一なビームを生成する高度なコリメータ光学を利用しています。これにより、フォトリソグラフィープロセス中にパターンが正確に露出することが保証されます。CCDセンサーは、高精度の検出とアライメント機能を提供し、サブミクロンレベルにアライメントすることができます。マスクアライナーには、デバイス操作やデータ処理を行うためのパソコンを内蔵したコンピュータ制御機もあります。コンピュータに容易なプログラミングおよび結果の表示を可能にする使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスがあります。このツールには、アセットを視覚化して操作するための数値キーパッドとビデオモニターも含まれています。MICROTEC MA 150Mは、MICROTEC MA 150マスクアライナーテーブルをはじめ、I-Line、 248nm、 365nm露出ツールなどのアクセサリや露出ツールに対応しています。KARL SUSS MA-150Mは、多くの基板、材料、パターンと互換性があり、さまざまなアライメントおよび露出機能を提供します。全体として、KARL SUSS MA-150 Mマスクアライナーは、優れたパターン生成、フォトリソグラフィ、アライメント機能を提供する効率的で高精度なデバイスです。定義された特徴と再現可能な精度と安定性を生み出すように設計されており、卓越した露出とアライメントの結果をもたらします。