中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9149625 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 150 Mは、マイクロチップの製造に使用されるMICROTECが開発した精密マスクアライナーです。マイクロビア、高抵抗率バス（200nm以下）、フリップチップアセンブリなど、さまざまな機能とアライメントを生成することができます。MICROTEC MA 150Mは、特殊なプロセス要件を高精度で処理するように設計されています。この設計には、モータ駆動の作業フィールドが含まれており、微調整と再現性のある位置決めが可能です。また、正確な位置を表示するデジタル読み取り出力も含まれています。また、最新の光学投影装置と精度を確保するための高度な検出システムを備えています。これにより、マイクロチップをパターン化する前に、マスクの背面および/または前面の正確なアライメントが可能になります。このシステムは、± 2 μ m KARL SUSSの許容精度で最大6インチまたは150mmの自動マスクに対応MA-150M、製造時間を短縮して簡単にするように設計されています。追加のプロセスオプションには、オーバーレイおよびサブピクセル倍率アラインメント、および異なる材料厚さに対応するプログラム可能なリニアZ軸が含まれます。内蔵のレーザー干渉計は、最高のアライメント精度と再現性を維持するのに役立ちます。MA-150Mの高度な設計は、PCベースのグラフィカルコントロールセンターを利用して、迅速かつ簡単なユニット設定を可能にします。統合されたカメラシステムは、正確な手動アライメントをサポートし、自動化されたプロセスのMetrologyとVision Assistedアライメントのオプションを備えています。機械にまた塵および水しぶき、またESDの保護に対する保護のためのIP67-compliant保護が付いている改善された堅牢性があります。MA 150 Mは、産業および学術研究アプリケーションの両方に最適です。シンプルなデジタルデザインから3Dスタッキングデバイスなどの複雑なデザインまで、すべてを作成するのに最適です。このユニットは、銅、金属、共晶、ポリイミド、シリコンなど、さまざまな材料を扱うことができます。それは必要な限り多くの精密の生産の条件を扱うように設計されています。