中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M/BSA #9268269 を販売中
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ID: 9268269
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 1996
Mask aligner
UV 400 Exposure optics
Light intensity sensor: 320/405 nm
W-100 / W-150 Mask holder
Topside microscope:
Type: DVM 6
Objectives: NPL 5x / L 25x
Bottom side microscope:
Magnifications: 110 / 330
Resolution: 2.4 µm
Proximity, 4"
Ball diameter: 2000 µm, 1998 µm, 1998 µm
Exposure illumination:
Area, 6"
Lamp: 1000 Watt
Position:
Fly eye: 5 mm
Condenser: 38 mm
Lens plate 1: 69 mm
Lens plate 2: 90 mm
1996 vintage.
MICROTEC MA 150 M/BSAは、設計されたマイクロストラクチャーの製造に使用されるマスクアライナー（MA）です。この高度な技術は、極めて高精度な半導体ウェーハのデバイス表面に薄膜マスクパターンを合わせるために使用されます。MA 150は高度な機能で設計されており、非常に細かい解像度で高品質で信頼性の高い製品を生産することができます。MA 150は、特許取得済みのバイナリ光学機器を使用して、マスクと2 µmの機能を調整します。マスクは、1 µmの精度で任意の方向に配置することができます。マスクは真空によって所定の位置に保持され、半自動の精密ステージと容易に整列されます。このシステムには、アライメントステージに毎秒最大2本のウェーハを供給できる自動フィーダも含まれています。KARL SUSS MA 150は、フォトマスクのアライメント、露出、開発、洗浄、後処理などのフォトリソグラフィープロセスに使用できます。これは、0。45を超える数値開口を持つ高分解能の最適化されたバイナリ光学ユニットを利用しています。各露出の前に2方向に設置された変位測定センサを使用することで、位置精度が向上します。MA 150には直視顕微鏡が内蔵されています。これにより、オペレータはアプリケーションサーフェス上のパターンとアライメント精度を視覚化できます。この機能は、歪みなく画像を見ることができる高度な光学設計で可能になります。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M/BSAは、高品質のマイクロストラクチャーの製造を確実にするための信頼性の高い正確なフォトリソグラフィソリューションです。機械の高度な機能と設計により、位置精度が向上した正確なマスクアライメントが可能になり、ダイレクトビュー顕微鏡は追加の制御および監視機能を提供します。これにより、MA 150 M/BSAは、優れた再現性を備えた信頼性の高い製品を製造するための理想的な選択肢となります。
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