中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 EL #293593231 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 EL Mask Alignerは、マスク上のパターンの優れた解像度と正確な配置を実現する、自動、高速アライメントおよび露出装置です。このシステムは、固有の歪みが少なく、広いフィールドとズーム機能、高解像度と再現性などの機能を備えたマスクパターン転送用に設計されています。MICROTEC MA150ELは、さまざまなアライメントタイプとプリセットオプションを実行し、幅広い用途やマスクサイズに対応することができます。KARL SUSS MA 150ELは、0。05umまでの基板アライメント公差と0。3um未満の登録公差により、高精度かつ再現性を提供します。高速移動が可能な3軸ステージを搭載し、ステッピングモーター駆動のレンズユニットを採用し、正確かつ再現性の高いアライメントを実現しています。このアライメントマシンは、5位置アライメントヘッドを備えたデジタルカメラ、ディスプレイ、制御ステーションを内蔵しています。デジタルカメラを使用すると、露出前に基板またはマスクの画像を表示し、アライメント比較を実行できます。KARL SUSS/MICROTEC MA 150ELマスクアライナーは、長寿命で安全なキセノンアークランプと、露光時間を正確に制御するための機械駆動シャッターを備えています。また、6インチx 6インチまでのフラットまたはリジッドマスクに対応する自動マスクおよび基板交換ツールを装備しています。Mask Alignerは、正確なマスキングに互換性のあるソフトウェアを使用しています。このソフトウェアは、パターン、入力パラメータ、比較データを保存することもでき、アライメントと露出の間にユーザーのインタラクションを最小限に抑える必要があります。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 EL Mask Alignerは、正確で反復可能で正確なチップパターニング用に設計されたオールインワン自動ツールです。さまざまな精密パターニングアプリケーションに使用でき、最適な歩留まりと正確な性能を提供できます。効率的で信頼性の高い技術とオートメーションにより、ユーザーは可能な限り最高の解像度でデバイスを迅速、正確、経済的にプロトタイプおよび製造することができます。