中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9394343 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CCマスクアライナーは、マイクロ電気および機械部品の製造に使用される汎用性と信頼性の高いツールです。サブミクロン精度でクリティカルアライメントを実現し、微細な特徴を持つ部品の製造に適しています。MICROTEC MA150CCは、完全に自動化されたユーザーフレンドリーな機器で、優れた反復可能な性能を提供し、高収率でファインジオメトリの生産に大きなコスト効率を提供します。KARL SUSS MA 150CCは、特殊なステッピングモーター変換ステージを使用して、タイル状のマスクを2つの直交軸で正確に動かします。この機構は、精密パルスエンコーダをベースにした高速位置決めシステムによって駆動され、非常に精密な再現可能な位置決め制御が可能です。ステージはさらにコントロールユニットと統合され、マスクを素早く装填してアンロードすることができます。マスクの積み降ろしは機械の前部にあるワンプッシュオートマトンによって促進されます。ローディング力はマスクのサイズに従って調節することができます非常に小さく、敏感な整列のマスクが正確に置くことができるように。マスクアライナーにはオートフォーカス機が内蔵されており、アライメントを実行するときに最高レベルの精度に到達することができます。光学ツールは、マスクの位置合わせマークに存在する高さの変化に関係なく、最良の焦点を得るために、被写界対物レンズと反転傾斜ステージの長い深さを使用しています。この機能は、マスクにエピイルミネーションを必要とする部品がある場合でも、十分な焦点の深さを可能にします。さらに、オートフォーカス機能は手動でオーバーライドまたは無効にすることができ、最大限の柔軟性を提供します。アナログ光学ステッピングシャッター技術を使用して、マスク上のアライメントマークをフォトダイオードに露出させ、アセットが標準の6um X 6umグリッド上のアライメントマークを検出して測定することができます。これにより、シャッターの機械的な動きが不要になるため、マスクを素早く露出することができます。マスクの焦点距離は調整可能で、ユーザーはニーズに応じて異なる露出とアライメント精度を達成できます。MA 150 CCには、マスク内の回転アライメントマークやスライダーを25nmまで低減するために使用されるマイクロポジショナーもあります。このマイクロポジショナーは、マスクがどのくらいの露出を受けるかを大幅に制御し、マスクの位置を微調整してより正確な位置合わせを行うために使用できます。MA-150CCマスクアライナーは、マイクロスケールのコンポーネントを調整するための高いレベルの精度と制御を提供する真の汎用性の高いツールです。ユーザーフレンドリーで、高収率での微細形状の生産に優れたコスト効率を提供します。