中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9299824 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CCは、幅広いフォトリソグラフィ用途に使用されるレンズ接触型マスクアライナーです。高いスループットと精度、および詳細なプロセス制御を提供します。MICROTEC MA150CCは、精密なアライメントと露出の柔軟性を備えた、マイクロおよびナノデバイスの製造を可能にするように設計されています。このマスクアライナーは150mm×150mmのワーキングエリアを持ち、プロトタイピング、大量生産、R&Dに最適です。高輝度光源、マキシストリンガー精度、アライメント誤差補正を備えており、さまざまなウエハサイズや基板に対応できます。KARL SUSS MA 150CCは、1。5ミクロンの再現性でアライメント精度を保証するアクティブアライメントシステムを備えています。自動化されたアライメント機能には、1点と2点の両方の測定アライメントが含まれており、3 µmから61 µmまでの特徴を0。45の数値で画像化することができます。このマスクアライナーには、優れた印刷精度を保証するいくつかのプロセス制御機能も装備されています。これらには、オープンループPIDシステム、リアルタイム監視およびフィードバック、および正確なオーバードライブ制御が含まれます。高品質なリソグラフィを実現するために、カールサスMA 150 CCにはウェーハハンドリングシステムとレシピベースの自動露出最適化が統合されています。最後に、マスクアライナーは、ウェーハの整列と露出のプロセスを簡素化するように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと強力で統合されたデータ管理および分析ツールが付属しています。また、高速オプションにより、スループットを向上させ、総回転時間を短縮することができます。MICROTEC MA 150 CCマスクアライナーは、優れた精度とプロセス制御を提供する、幅広いフォトリソグラフィーアプリケーションのための効率的で費用対効果の高いソリューションです。頻繁で正確なアライメント、正確な露出、高スループット機能を必要とする方に最適です。