中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9250077 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC
ID: 9250077
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CCは、大規模なマイクロエレクトロニクスデバイスを処理するために設計された、洗練されたユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。高精度なアライメント、正確な露出、安全な転送を可能にする高度で直感的な機能を備えています。このMA-150は、ほとんどのタイプの半導体デバイスを処理するための簡単なワークフローで、自動的なアライメントと露出を提供します。高解像度の光学顕微鏡を搭載しており、不利なマスクパターンでも簡単に揃えることができます。さらに、内蔵のスケールにより、信頼性の高い倍率が保証され、小型コンポーネントとメモリデバイスの完全なアライメントを実現できます。MA-150の露出装置は、150 x 150mmまでの基板の露出をサポートする優れたイメージング機能を提供します。大型基板の均一な照明を実現するパルス発生器を内蔵し、均一で正確な露光を実現する優れた安定化技術を提供します。露出システムは、露出前ベークと露出後ベークをサポートし、優れた画質を確保するために、可変速度、露出トラッキング、および可変強度を備えています。MA-150のマスク転送プロセスは信頼性が高く安全です。自動化されたマスクロックアップユニットを内蔵しており、マスクが移動中も確実に固定されていることを保証し、誤植の可能性を排除し、正確な位置決めを保証します。さらに、マスクロケータは高速カメラを使用して、マスクを正確に位置合わせ顕微鏡に配置し、ずれの可能性を排除します。MA-150の高度な機能には、効率的な基板処理のための組み込みロボットが含まれています。このロボットは、露光機に基板を迅速かつ正確かつ安全に配置することができ、手動での積載が不要です。さらに、高度なプロセス制御ツールにより、ユーザーは1つの中央位置からすべての操作を管理、監視、監視することができ、デバイスを簡単に制御できます。全体として、MICROTEC MA150CCは洗練されたマスクアライナーであり、大規模なマイクロエレクトロニクスデバイスの精密アライメントと安全な転送に最適です。高度な機能が揃っているため、操作の管理、監視、制御が容易で、大きな基板を正確に処理できるため、さまざまな生産ラインに適しています。
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