中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9249160 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CCマスクアライナーは、ウェーハ表面にサブミクロンの特徴と構造を生成するのに理想的な、高効率、正確かつ堅牢なリソグラフィーシステムです。電気的に帯電した電子ビームを利用して、アライナーは高精度で分解能の半導体層を正確に位置決め、センタリング、露出することができます。アライナーは、処理中にウェーハを確実に保持および整列させるローディング機構と、最適なリソグラフィープロセスを確保するための微調整を可能にするプロセス制御モジュールを備えています。MICROTEC MA150CCアライナーは、優れたエネルギーシールドにより、接触フォトリソグラフィや深紫外線投影など、さまざまな一般的で専門的なプロセスをサポートしています。さらに、KARL SUSS MA 150CCは、X、 Y、 Z方向の1µmの最大25mmおよびステップ分解能の手動ステッパー移動距離を可能にし、大規模な生産を可能にします。アライナーには、ウェーハパターンの画像をキャプチャし、各ウェーハの補正とアライメントのフィードバックを提供するアライメントと登録カメラも含まれています。さらに、MICROTEC独自のスマートプロセスレシピソフトウェアにより、20以上の処理パラメータを信頼性の高い効率的なアライメントが可能になります。高精度の性能のために、MA150CCアライナーにはソリッドステートシャッター、アクティブ熱制御、および高容量ストレージが装備されています。シャッターは、繊細なフィルム樹脂の必要性を排除しながら、パターンの鮮明なアライメントを保証します。さらに、アライナーは、生産全体で一貫した温度を容易にするアクティブな熱制御システムを備えています。これにより、長期的なパターン・アライメントの信頼性と優れた結果が保証されます。最後に、MICROTEC MA-150 CCの高容量ストレージは、主電源を停止しても重要なパラメータと制御設定を維持します。要するに、MICROTEC MA-150CC Mask Alignerは、低歪み、高精度のウェーハパターンと構造を生成するためのトップオブラインのシステムです。