中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9229272 を販売中
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販売された
ID: 9229272
Mask aligner
Power supply: CIC 1200
PC Type: DSM-P233 MMX
Relay interlock box
TSA camera: XC-50
TSA objectives: 5 x / 0.15, 10 x / 0.30, 20 x / 0.40
BSK microscope: 520R Rechts / Right
BSA-Camera 264537 Rechts / Right
Cognex 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400
Prealigner
Prealigner sensor head: SI / GAAS / INP
Mask holder
Chuck
Main microcontroller:
Input card: 260PC105-05
Input card: 260PC113-01
D/A Cov DVM²: 260PC102-05
Parallel input / Output exp BSA: 260PC103-03
Valve driver: 260PCPC103-01
Funnel prealigner: 260PC129-02
Manipulators: 260PC116-01
D/A Conv DVM BSA: 260PC102-05
Motor driver DVM²: 260PC109-02
Elevator right: 260PC119-01
Elevator left: 260PC119-01
Microscope x-motor: 260PC119-03
Mask x-motor: 260PC156-04
Microscope y-motor: 260PC119-03
Mask y-motor: 260PC156-04
Microscope motor: 260PC119-03
Mask motor: 260PC156-04
Z-Axis: 260PC119-03
Wafer transfer: 260PC126-03
4 Channels A/D card MOM: 260PC176-03
CPU MOM: 260PC105-16
Stage driver MOM: 260PC168-06
Valve driver 3CB: 260PC104-01
Power supply standard: 260PC124-02
Power: 230 V
Lamp: 350 Watt bulb
2002 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CCは、半導体チップ、センサ、ナノ電気機械システム（NEMS）などのナノ構造または微細加工デバイスの製造に使用される高精度マスクアライナーです。アライナーは、1ナノメートルまでの精度で、異なるマスクを互いに調整することができます。近距離光学装置と高精度ステージを組み合わせ、極めて正確なアライメントを実現しています。このシステムでは、複数のマスクを連続して配置することもできます。MICROTEC MA150CCは、新しいデバイスが正確に配置され、リソグラフィ処理の準備ができていることを確認するために、さまざまな機能を提供しています。このマスクアライナーは、カスタマイズ可能なアライメントワークスペース、オン軸補正アルゴリズム、および自動ウェハスキャンを使用してデバイスの精度を向上させ、比類のないレベルの精度と再現性を提供します。さらに、意図しないウェーハのずれを検出することができ、ユーザーはプロセス全体を停止することなく修正することができます。KARL SUSS MA 150CCツールには、リソグラフィープロセス中に望ましい領域だけが露出するように、可変開口制御が装備されています。自動化された光学センタリング機能により、手動調整の必要性が最小限に抑えられます。また、正確なステージモーション制御により、ステージモーションが正確かつ反復可能になります。さらに、その高度な温度制御チャンバーは、リソグラフィ手順中の温度安定性を保証します。KARL SUSS/MICROTEC MA150CCは、優れたアライメント性能に加えて、大量生産プロセスにとっても貴重なソリューションです。このアセットは、複数のウェーハを同時に処理できるため、スループットを最大化し、スペースを最小限に抑えることができます。また、Deep UV、 IC Scope、 Step&Scanなどの高度なフォトリソグラフィープロセスもサポートしています。全体として、KARL SUSS MA-150 CCは強力で高精度なマスクアライナーで、ナノ構造および微細加工デバイスの製造において比類のない精度と再現性を提供します。このモデルは、軸上補正、自動ウェハスキャン、可変開口制御などの機能を備え、大量生産プロセスに最適なソリューションを提供します。
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