中古 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9105740 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CCマスクアライナーは、最先端の自動フォトリソグラフィーツールです。複雑な形状の小さなデバイスの処理に最適です。具体的には、MICROTEC MA150CCは、1mm〜150mmのサイズ範囲のデバイスに適しています。自動ツールキャリブレーション、再現可能なアライメント精度、高精細イメージングなどの機能により、0。75インチから直径6インチまでのさまざまなウェーハ上のファインラインフォトレジストを製造するのに理想的な選択肢です。KARL SUSS MA 150CCは、光源、ウェーハチャンバー、ステッピングモータ、精密光学および機械部品を含む統合プラットフォームで構成されています。光源はフォトレジストの露出に必要な紫外線を発生させます。高出力の水銀アークランプと目視検査用の白熱灯を内蔵しています。ウェーハチャンバーは、100mmゲートとLangmuir-Blodgettフィルム成膜を備えた精密石英チャンバーで、ウェーハの均一なコーティングが可能です。さらに、チャンバーには大気を制御するための通気口が装備されています。ステッピングモーターは、重要な寸法のずれを最小限に抑える精密な微細な位置決め精度を提供するように設計されています。ステッパーは1mm回転点の精度で設計されており、フォトレジストの露出に重要です。さらに、この高度な機器には、マスクと基板の正確なアライメントのための統合されたアライメントソフトウェアが含まれています。また、露光時の精度を維持するためのアライメント監視ユニットも搭載しています。さらに、MICROTEC MA-150CCは、0。25ミクロン以下の解像度で高精細画像を提供します。これにより、最も重要なデバイスレベルで優れたイメージングとパターン定義が提供されます。また、KARL SUSS MA-150CCは、露光チャンバ内および露光チャンバ外へのウェーハのスクリーニング、整列、転送を可能にする高度なロボットオートメーション機能を備えています。さらに、機械は迅速な切り替えを可能にし、一貫したレベルの品質と性能を提供します。全体として、MICROTEC MA-150 CCマスクアライナーは、優れた性能を提供する高度なフォトリソグラフィーツールです。さまざまな基板上に高精細・微細ラインのフォトレジストを製造するのに適しており、統合されたオートメーションマシンは一貫した品質と性能を提供します。このマシンは、0。75インチから直径6インチまでのウェーハを処理でき、0。25ミクロンまでの解像度で優れた精度と精度を提供します。これらの機能はすべて、複雑な形状を持つ複雑なデバイスを製造するための理想的な選択肢とMA150CCます。