中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 14 #9281941 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 14は半導体産業で使用されるフル機能の半自動マスクアライナーです。MICROTEC MA 14は、フォトマスクを正確なピクセルレベル登録でフォトレジストコーティングされたウェーハに合わせるように設計されています。これは、マスクとウェーハの間の正確な相対的な動きを容易にするために、継続的に調整可能なXYステージを備えています。KARL SUSS MA 14は、デュアル光学システムを使用して、ウェーハとマスクの両方の複合テレセントリック画像を作成します。この画像は、マスクとウェーハのアライメントを評価するためのリファレンスとして使用されます。データム基準点を確立するために、統合レーザークロスヘアモジュールが使用されます。これにより、マスクとウェーハ間の正確な再現可能なアラインメントが可能になります。MA 14はまた、自動ルーチンアライメントに2次元カメラシステムを使用しています。アウトプットイメージに検出されたステージパターンを導入することで、自動アライメントを行います。パターンの変形を計算することで、オートフォーカスはマスクとウェーハの距離を正確に調整できます。また、他のアライメント要素を邪魔することなく、アライメントマークの相対位置を調整するソフトタッチフィーチャーでアライメントを行うことができます。KARL SUSS/MICROTEC MA 14には、デジタルディスプレイ付きのユーザーフレンドリーなキーパッドも含まれています。ディスプレイには、各アライメントに必要なパラメータの最新の概要が表示されます。ユーザーフレンドリーなキーパッドは、ユーザーが簡単にアライナーにコマンドを入力してアライメント処理を処理することもできます。MICROTEC MA 14は、高精度のマークとラベルを提供するだけでなく、ウェーハの特徴測定と特性評価を容易にするためのさまざまな測定モードを備えた汎用性の高いアライナーです。これらには、オーバーレイ解析、距離測定、フィーチャーの位置と特性のグリッド検索が含まれます。KARL SUSS MA 14は、ウェーハ製造アプリケーションに最適な業界レベルのアライナーです。その多彩な機能と機能により、フォトマスクとフォトレジストコーティングされたウェーハを正確かつ正確にアライメントできます。MA 14は、高品質のウェーハ生産を保証する信頼性、再現性、正確なアラインメントを提供します。