中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 12 #293808783 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA 12は、高解像度でパターン構造を転送するフォトリソグラフィに使用されるマスクアライナーです。高真空チャックで25mm〜200mmのウェーハをサポートし、正確なアライメントを実現する自動ウェーハハンドリング装置を搭載しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスで簡単に操作できるプログラム可能な露出ツールです。近赤外線（NIR）から紫外線（UV）まで幅広い波長をキャプチャできる波長調整範囲を備えています。MICROTEC MA 12は、X、 Y、シータ軸で正確な位置決め制御を行い、ウェーハ上のパターンの正確なアライメントを保証します。最適な画質を確保するために、0。28の数値絞りと最適化されたイメージングユニットを備えた高度な投影光学システムを備えています。さらに、スキャンされたフィールドに最適な露出を自動的に選択し、フォーカスチューニングマシンを統合して焦点深度を調整できます。KARL SUSS MA 12の主な高度な機能は、用量依存の部分露出制御です。パターンのサブミクロン分解能を実現し、複数層の高精度処理に使用されます。また、プログラマブルな層の厚さの設定とさまざまなアプリケーションのためのレシピベースの自律的な使用を提供しています。この機能により、リソグラフィやナノインプリントなどの用途において、微細で高精度な構造を確実に定義できます。その他の機能としては、自動シャトルツールによる反復可能なマスクの取り扱い、望遠鏡シャッターとプログラマブルフィルムホルダー、および統合された真空アセットがあります。また、2つの暖房システムがあり、1つはベース温度用、もう1つはマスクとウェーハの温度調節用です。また、ソフトウェア内のスキャナーアライメントオプションを使用して、アライメント精度を微調整できます。MA 12は、さまざまな種類のフォトリソグラフィープロセスに使用できる強化マスクアライナーです。優れた性能、高精度、再現性を備えているため、複雑で複雑な精密プロセスに最適です。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスといくつかの自動化された機能により、使いやすく維持できます。KARL SUSS/MICROTEC MA 12の柔軟性と精度により、産業用、研究用、学術用途向けの貴重なツールとなります。
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