中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9389780 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eマスクアライナーは、フォトリソグラフィ、半導体オプトエレクトロニクス、光学など、さまざまな用途向けに設計された高精度で費用対効果の高いデバイスです。洗練されたソフトウェアとハードウェア機能を使用しながら、マスクを基板に配置して露出する作業を自動化します。MICROTEC MA100Eには、基板をしっかりと固定する真空チャックと、2軸・高精度ステージを装備しています。最大解像度10 µm、再現性5 µmを誇ります。KARL SUSS MA 100 Eは、3 µmまでの特長サイズを提供する強烈なUVハロゲンランプで構築されています。内蔵カメラベースの自動アライメントシステムにより、画像ベースのアライメントマークを使用できます。内蔵のセンサーにより、高精度で高速なアライメント補正が可能です。このデバイスは、自動焦点検出、反復可能な結果の保証、および高精度フォトリソグラフィーアプリケーションのための突出した機能解像度と精度を提供します。必要なXYステージは、マスクと基板サイズを最大100mmまで可能にします。ステージには、0。5 μ 25 μ mオープンループの再現性を備えた堅牢で低振動の工業グレードのリニアモータドライブシステムが組み込まれています。モータ速度の遅さと速さは、精度アライメントとステージ速度の最適化のためにそれぞれ設定できます。速いモーター速度は遅いモーター速度が1mm/sまである間、200mm/sまでに置くことができます。KARL SUSS MA 100Eは、光学的、流動的、電気的なフィードスルーを備えており、フォトレジストを最小限の汚染で転送することができます。また、クロストーク補償により、グローバル基板モーションエラーを排除します。MA 100Eは人間工学に基づいた操作コンソールを備えており、ユーザーは簡単なキーパッドインターフェイスでユニットを制御することができます。内蔵の診断ツールにより、迅速なトラブルシューティングと問題解決が可能です。KARL SUSS/MICROTEC MA100Eは、シリコンウェーハ、石英、ニオブ酸リチウム、ポリイミド、セラミックなど、幅広い基板のアライメント、露出、接触プロセスを自動化する高度な機能を備えています。自動クリーンアップ機能により、残留クリーニングソリューションを効率的に除去できるため、重要な領域での接触時間が短縮され、マスク/基板交換時間が短縮されます。最後に、このデバイスは、ハロゲン安全シャッターやCE認定安全クラス1スキャンなど、包括的な安全機能を備えています。MA 100 Eは高度で信頼性の高いマスクアライナーで、プログラミング時間を最小限に抑え、不完全なアライメントによって引き起こされる廃棄物を最小限に抑え、幅広いフォトリソグラフィおよびオプトエレクトロニクス用途に最適な精度とスループットを実現します。