中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9358526 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、薄膜デバイスのウェーハステッパーアライメントに使用される自動マスクアライナーです。18インチ調整可能なベースと、マスクとアルミ基板を正確にアライメントするための高度なアライメント装置を備えています。MICROTEC MA100Eは、最大⅓ミクロンの精度でマスクと基板の迅速かつ自動アライメントを提供することにより、薄膜加工コストを削減するように設計されています。KARL SUSS MA 100 Eは、5インチマスクトレイを使用して、最大20枚のマスクを一度に保管します。自動化されたマスク管理システムは、トレイからマスクをロードおよび取得するプロセスを合理化します。マスクトレイには、適切なマスク配置を確保するための引き込み式シャッターも装備されています。マスクと基板のアライメントは、プロセス全体を通してセグメント化されたロックを使用して実行されます。このアライメント技術は、あらゆる種類のマスクや基板に対して高い精度と再現性を保証します。マスクアライメントシステムに加え、マスクトレイ内の水分含有量を低減する窒素パージユニットを搭載したKARL SUSS MA 100E。これにより、水分がずれを引き起こす可能性があるため、一貫したアライメント品質が保証されます。パージマシンは、湿度を制御して最適な湿度レベルを維持するセンサーと統合されています。マスクトレイとは別に、MICROTEC MA 100Eには、アライメント工程中にマスクや基板の位置決めをより柔軟に行うことができるテーブルプラットフォームも装備されています。このテーブルにより、基板とマスクの迅速かつ簡単な位置変更が可能になり、時間を節約し、精度を高めます。MA100Eは、薄膜デバイスのウェーハステッパーアライメントに最適です。高度なアライメントツール、窒素パージ資産、自動マスク配置により、高精度と再現性を実現します。調整可能なベース、テーブルプラットフォーム、および引き込み式シャッターは、コストのかかるエラーを排除してコストを削減する柔軟で効率的なプロセスを保証します。
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