中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278360 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、半導体ウェーハへの高精度フォトリソグラフィックマスクパターンの接触アライメントを容易にするために設計されたマスクアライナーです。装置は非常に正確で、3ミクロン以下の精度に登録することができます。さらに、マスクアライナーは40mm x 40mmの領域でアライメントすることができ、マークのエッジが3％の精度でアライメントされるほど正確です。MICROTEC MA100Eは、XYポジショナーを介して電動ステージとヘッドを構成する光学システムを使用しています。KARL SUSS MA 100 Eのヘッド/XYステージは、XY平面で5ナノメートルの解像度を可能にする強力なステッピングモーターとガラスエンコーダを使用しています。これにより、ターゲット基板とパターン化されたマスクの正確なアライメントが可能になります。MA 100 Eはパターンスキャンも可能で、4倍から16倍にズームインできるPower Zoom光学ユニットを備えています。このマシンは、パターンの詳細を正確に整列させるために、高解像度で1つのダイで最大16レベルを読み取ることができます。MICROTEC MA 100Eは、精密なアライメント機能に加えて、半導体製造の効率を高めるために設計された多くの機能も提供しています。マスクアライナーは、露出の正確なタイミングを可能にする容量性タイミング回路を備えています。KARL SUSS MA 100Eは、ウエハーの誤動作を防ぐ自動シャッターも備えています。マスクアライナーには、独立したヒーターと統合されたパターン認識ソフトウェアが装備されています。全体として、KARL SUSS MA100Eマスクアライナーは、半導体基板とフォトリソグラフィーマスクを調整するための強力で正確なツールです。このツールのステッピングモーターとガラスエンコーダは、XY平面の5ナノメートルの分解能と正確なアライメントを可能にします。さらに、容量性タイミング回路、自動シャッター、独立したヒーターなどの追加機能を備えたMICROTEC MA 100 Eは、半導体製造業向けの強力で汎用性の高いツールです。