中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278299 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Alignerは、マイクロファブリケーション、ナノ加工、およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）などの様々なマイクロ電子アプリケーション用に設計された、1つのフォトリソグラフィーシステム内のすべてです。単位はミクロンおよびナノメートルの範囲の空間分解能の表面の特徴をパターン化することができる自動化されたシステムです。11。6インチの大型タッチスクリーンを備えた使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、マイクロポジショナーとデバイスパラメータを制御できます。コントローラは4つの自由度を備えており、高精度なアライメントとリソグラフィを可能にします。マスクホルダーの光学システムはオートフォーカス機能を備えており、マスクとの位置合わせを2 μ m以内に正確に行うことができます。光源は最大照度31000 mW/m2のLEDアレイで、調整可能な均一性は80％以上です。光源は、様々な用途のための緑、青、または紫外線の範囲を含む様々な波長を提供しています。さらに、このツールは、さらなる露出を制御するための可変的な強度制御を備えています。リソグラフィーステージは、より小さな基板用の2インチおよび4インチアダプターを備え、直径150mmまでのウェーハまたは基板に対応できます。真空チャッキング機構を搭載し、アライメントと露出時に最高の精度を確保します。露出された物質的な皿は乾燥した、水溶性の抵抗のために利用できます。プロセスの経過時間は、渡されたリアルタイムタイマーの助けを借りて監視することができます。最後に、このデバイスは1。5 μ mの最高のランツーラン再現性と0。5 μ mのランツーステッチ精度を備えています。MICROTEC MA100E Mask Alignerの頑丈な構造、柔軟性、および精度により、マイクロナノおよびナノ加工の最先端のアプリケーションにも理想的なツールとなります。