中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9197137 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、高分解能フォトリソグラフィック微細加工プロセスに使用される完全自動マスクアライナーです。集積回路、センサ、アクチュエータ、その他のマイクロエレクトロニクス部品の製造に適しています。MICROTEC MA100E装置には、PCベースの制御ユニットと、自動基板とレチクルローディングを備えた光学/機械アライメントシステムが内蔵されています。レチクルは5軸ステージに搭載され、精密アライメントにはデジタルマイクロメータを使用します。レチクルステージには、マニュアルモード、フルローテーション、リセッシングオプションがあります。基板は真空チャック上に保持され、手動または自動基板ハンドリングユニットを使用してロードされます。真空チャックはモーター駆動であり、基板のずれを最小限に抑えることができます。また、照明と光学顕微鏡を一体化した視覚表示・画像センシングツールを搭載しています。この光学系のセットアップにより、1µmの解像度を達成できます。KARL SUSS MA 100 Eはまた、5µm XYムーブメント機能を備えた6 or12インチ真空作動基板ステージを備えています。マスクアライナーは、光透過効率99。7％のフォトレジスト被覆基板にレチクルから光パターンを投影することができます。高解像度の投影光学系は、基板全体に拡散光パターを確保し、非常に高いレベルの横分解能、正確な登録と高コントラストを持つ複雑な構造の形成を可能にします。MICROTEC MA 100 Eは、広範囲の大気分画率と真空レベルで動作するため、非常にコンフォーマルコーティングと層の均一性を高めることができます。マスクアライナーは、使用材料に応じて、380 nmから75 µmまでの幅広いアライメント精度を備えています。MA 100 Eは、直感的なユーザーインターフェイスと精密設計のおかげで使いやすく、メンテナンスも簡単です。様々な工程に簡単に組み込むことができ、マイクロフォトリソグラフィに最適なツールです。