中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185938 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、紫外線（UV）フォトリソグラフィーマスクアライナーで、マイクロおよびナノファブリケーション技術を使用して集積回路、機能機械構造、その他の3D構造を製造するために使用されます。この装置は、最高精度のUVフォトリソグラフィを提供し、作業エリアは5インチです。x 8インチ。それは産業および学術的な適用の広い範囲のために適しています。MICROTEC MA100Eには、2つの540 nm CWレーザー光源（6Wと4W）があります。光学式パワーメーターは、正確なパワーレベル設定を保証します。部品は安定性および耐久性のための熱シールドされた箱に収容されます。このシステムはまた、mm分解能マスクプレートに関連して基板を正確に配置するための可動ステージを備えています。3軸電動ステージの解像度は0。1 um、最高速度は2000 um/secです。このユニットには、自動マスク登録、低定数フィーチャー異常、低熱ドリフト、高精細画像、および強化されたオーバーラップ補正など、いくつかの有利な機能があります。KARL SUSS MA 100 Eには、タッチパネルを備えたHMIコントロールインターフェイスが装備されています。オペレータは、露出時間、リピート数、マスクアライメント、XYアライメント、リピートアライメントなどのパラメータを調整できます。KARL SUSS MA100Eは、UVフォトマスクを使用して、直径6umの円形ビームで最大256ビームの光を生成します。基板への画像の最大投影量は、X軸とY軸で± 5mmで、最大解像度は0。5um。また、精密なパターニングのためのプラズマエッチングも可能です。このツールは、ナノメートルスケールの機能からマイクロメートルスケールのものまで、幅広い構造を生成することができます。最後に、KARL SUSS/MICROTEC MA100Eには、敏感な材料に損傷を与える可能性のある迷走紫外線を遮断する保護アルミニウムマスクも装備されています。また、キースイッチ、モーション検出、UVライトシャッターなどの安全機能も備えています。要約すると、MICROTEC MA 100Eは、自動マスク登録、低定数フィーチャー異常、低熱ドリフト、高精細画像、および強化されたオーバーラップ補正などの高度な機能を備えた高度なUVフォトリソグラフィーマスクアライナーです。このモデルは、さまざまな基板上に正確なパターンを作成するための優れた選択肢です。