中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185937 を販売中
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ID: 9185937
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
Sensor
WEC
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、半導体基板へのフォトマスクの正確なオーバーレイに使用されるマスクアライナーです。この機械には、水晶ハロゲン照明、コンピューター制御の可動ステージ、自動化されたアライメントコントローラが装備されています。石英ハロゲン照明器は、アライメント処理中に均一で強度のプロファイルを可能にする高いワット数を持っています。照明器にまた調節可能な強度のレベルがあり、望ましい効果を作り出すためにライトを調節することを容易にさせます。照明器の位置も遠隔で制御することができ、光の正確な配置と角度を可能にします。移動ステージにはモーター駆動ユニットがあり、X、 Y、 Z軸で最大50mm/sの速度で移動することができます。これにより、フォトマスクと基板を同時に正確に配置することができます。位置決めは、2つのコンポーネントのアライメントのための最大+/-0。1ミクロンの許容差で達成することができます。自動化されたアライメントコントローラは、マシンの頭脳です。これにより、フォトマスクと基板の迅速かつ正確なアライメントが可能になります。このコントローラは、エッジ検出、オートフォーカス配置、およびその他のさまざまな機能を組み合わせて使用して、アライメントプロセスの精度を確保します。また、コンピュータに接続されているため、複雑なアライメントプロセスを設計および制御できます。MICROTEC MA100Eは、最も複雑なフォトマスク構造を正確に整列させる優れた性能と能力でよく知られています。サブミクロンのオーバーレイ精度が可能で、印象的な寿命を持っています。さらに、この機械は使いやすく、メンテナンスも簡単で、半導体業界の間で人気のある選択肢となっています。
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