中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185936 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、様々なフォトリソグラフィ用途のための広い作業領域を持つ高度なマスクアライナーです。150 x 150mmの広い最大範囲の作業領域とプログラム可能な制御焦点とビームパワーを備えたMICROTEC MA100Eは、高い精度と精度を提供します。このデバイスには、0。5から0。75までの数値開口範囲を持つ4つのリソグラフィ投影レンズと、さまざまなサイズ、基板、およびアプリケーションでの作業の柔軟性のための0.2X還元レンズが装備されています。このデバイスは、中量から大容量のリトグラフィー用に設計されており、所有コストと長いライフサイクルを提供します。KARL SUSS MA 100 Eは高度に自動化されており、安定した信頼性の高いプロセスを提供し、バッチ処理とスプリットウェーハ処理の両方が可能です。ユーザーフレンドリーな制御システムを搭載し、ビジョンシステムとフィデューシャルマーク認識とオーバーレイ補正を備えています。基板サイズに依存しない線量を正確に制御しながら、露出時間を2secに短縮できます。このデバイスはまた、プロセス管理を自動化し、厳格なプロセス制御パラメータを提供し、ウェーハのバッチ間で均一な処理と一貫した結果を得ることができます。このデバイスはパソコンとLinuxサーバーの両方で動作し、ユーザーはシステム構成を簡単にカスタマイズして目的のパフォーマンスパラメータを含めることができます。このデバイスはカセットツーカセットモジュールとも互換性があり、真空環境を壊すことなく素早く簡単にロードとアンロードを行うことができます。MICROTEC MA 100Eは堅牢で信頼性の高いデバイスで、2D/3Dマイクロストラクチャーおよび表面マイクロマシニングの製造に最適です。操作とメンテナンスが容易で、長期的な生産性と最小限のダウンタイムを提供します。それはまた、リーズナブルなコストで大規模な作業エリアを探している企業のための経済的なソリューションです。