中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185933 を販売中

MICROTEC MA {KARL SUSS Autoaligner） 100Eは、ウェハレベルのリソグラフィ用に特別に設計されたマスクアライナーです。この装置は、露光波長365nmの深紫外線（DUV）光源を使用し、最大積載可能なウェーハサイズは200mmです。このシステムは、フォトマスクやレチクル製造などの先進的な半導体デバイス製造に最適です。KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、精密なアライメントと高解像度を提供するエアベアリング整列X/Yステージ技術を使用しており、ハイエンドの生産環境に適しています。MICROTEC MA100Eの解像度はx方向とy方向で2。5 µm、精度は2-5 µm、 Z軸精度は25 nmです。高精度なアライメントとフォーカスにより、サブミクロンの分解能パターンを高精度かつ再現性で保証します。このアライメント精度は、テレセントリックレンズ設計による自動光学アライメントユニットの実装により可能となります。KARL SUSS MA 100 Eは、ユーザーがアライメントプロセスを素早く簡単に設定および監視できる包括的なユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。統合されたWindowsグラフィカルユーザーインターフェイスは直感的で、複数のアプリケーションの自動レシピを簡単に組み込むことができます。また、DICOM （Digital Imaging and Communications in Medicine）構成と画像ベースのアライメントにより、ウェーハに対して正確な位置にパターンを配置できます。MICROTEC MA 100 Eは、最大スループットが1,500ウェーハ/時間と高いため、大量生産アプリケーションに最適です。また、リソグラフィ中の熱ゆがみのリスクを低減するように設計されたオプションの高度な冷却機を提供しています。MICROTEC MA 100Eも環境に配慮しています。これは、動作中の騒音レベルと一般的な環境への影響を低減するために、環境制御および気流冷却ツールを使用しています。全体的に、KARL SUSS/MICROTEC MA 100 Eマスクアライナーは、正確で信頼性の高いデバイス製造、特にフォトマスクとレチクル生産のための理想的なマスクアライナーです。精密なアライメントとフォーカス機能に加えて、高度な光学アライメント・アセットと高いスループット・レートにより、ハイエンドの本番アプリケーションに最適です。