中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185932 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eマスクアライナーは、フォトリソグラフィックパターンを基板に迅速かつ正確にアライメントするために設計された先進的な半導体加工装置です。これは、フラットパネルディスプレイ、集積回路、およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）などのアプリケーションのための複雑なデバイスの製造に使用されます。アライナーは、色収差補正（CAC）を利用した高精度で高解像度の光学システムを備えており、最適な画像形成を実現しています。CACユニットは、小さくて正確な識別と整列が困難な機能の解像度を向上させます。MICROTEC MA100Eは、パターン認識とアライメント機能を自動化し、アライメントプロセスを簡素化します。レーザーベースのビジョンシステムと高精度X-y駆動メカニズムのユニークな組み合わせを利用して、パターンエッジ位置を正確に測定および補間します。これにより、1 μ m以下の正確なアライメントが保証されます。また、40ミクロンの解像度を持つ高速Z軸駆動機を搭載し、様々な厚さの表面にパターンを素早く露出させることができます。直径6インチまでの基板に対応できる高露光場を備えています。さらに、機械に自動操作または手動制御のためにプログラムすることができるタッチスクリーン制御があります。このツールはまた、統合されたウェーハハンドリングシステム、完全に自動化された流動性、近接センサ、およびさまざまなプロセスを容易にするための真空チャックを提供します。KARL SUSS MA 100 Eは、10秒から500秒までの露光時間と互換性があり、さまざまな化学物質と互換性があり、材料に抵抗します。高度なマスク整列機能には、KARL SUSS MA 100Eが最適です。特徴と機能のユニークな組み合わせは、優れた精度で複雑なデバイスを作成するための理想的なソリューションを提供します。