中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185929 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、微細加工装置の製造に使用される高度なマスクアライナーです。このデバイスは、シリコンウェーハ、マスク、基板の高精度アライメント用に設計されています。MA100アライナーは、レーザーアライメント技術を使用して加工対象物の正確なアライメントを提供する高精度の光学サブシステムで構成されています。これには、紫外線（UV）や可視光など、さまざまな波長のレーザーが含まれます。また、標準の6インチフォトマスクとサブミクロンのアライメント精度が含まれています。このマシンは、フォトリソグラフィ、イオンミリング、イオンエッチングなど、1つのデバイスでさまざまなタスクを実行できます。高精度の光アライメント技術により、マイクロエレクトロニクスデバイスのウェハダイシングやアーキテクチャ関連のタスクにも適しています。また、精密フィルムへのパターン染色も可能です。MA100には、光学イメージング顕微鏡、ステージ、計測システムの3つの主要なコンポーネントがあります。光学イメージング顕微鏡は、加工されているデバイスの高解像度イメージングを提供し、ユーザーが任意のギャップや不整合を調整することができます。ステージは、マスクと基板の正確な動きを提供し、正確なパターンアライメントを可能にします。一方、計測システムは、デバイスの正確な位置とアライメント精度を測定するために使用されます。このMA100には、複数の深さのレイヤーなどの追加機能があり、複数のレイヤーで同時に加工することができます。また、アライメント中にウェーハを再配置することも可能で、ユーザーはアライメント処理を最適化することができます。さらに、処理中の累積エラーを最小限に抑えるのに役立つプロセス安定性機能を備えています。最後に、ユーザーが加工プロセスの進行を追跡できる統計出力機能が含まれています。要するに、MICROTEC MA100Eは、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される高度なマスクアライナーです。レーザーアライメント技術を使用して、ウェーハ、マスク、基板の正確なアライメントを提供し、精密フィルムにパターン染色を可能にします。また、プロセスの安定性やエラーの追跡など、さまざまな追加機能を提供し、スムーズで効率的な加工プロセスを保証します。