中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185927 を販売中
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ID: 9185927
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
WEC
Sensor
Control cabinet
Non-functional
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、フォトリソグラフィに使用される精密マスクアライナーツールです。この汎用性の高い機械は、高度な研究から商業生産まで、幅広い用途に適しています。MICROTEC MA100Eは、高精度の直接2D-controls、運動、温度制御を特長としています。また、安全性とプロセス関連の制御機能を備えた統合された機械制御システムが付属しています。マスクアライナーは、6 in 1、高反射、低散乱光学システムを含む高性能の光学系を提供します。この光学系は、さまざまな用途に適した照明およびイメージングシステムを提供するように設計されています。また、防塵性に優れた設計となっているため、生産設備で頻繁に発生する厳しい環境に適しています。KARL SUSS MA 100 Eは、400µmまでの様々なサンプルサイズに対応できる高解像度XY電動ステージを備えており、さまざまなフォトマスクや基板に適しています。また、専用の精密アライメントのためのレンズセンターファインダーなどの高度なアライメント技術も備えています。さらに、KARL SUSS/MICROTEC MA 100 Eには、クイックパラメータ設定とレシピ管理を可能にするグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた統合プロセスコントロールソフトウェアが付属しています。これにより、アライナーは生産施設で簡単に使用でき、再現性のある高精度な結果を得ることができます。全体的MA100E、様々なフォトリソグラフィ用途に適した優れたマスクアライナーです。これは、使いやすく、信頼性の高い再現性のある結果を生成する機能の広い範囲を提供しています。その結果、高度な研究と商業生産の両方に最適です。
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