中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293670040 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、半導体リソグラフィ用途のフォトマスクやレチクルの正確なアライメント用に設計された高精度マスクアライナーです。MICROTEC MA100Eは、15nm以上のデバイスジオメトリに単一および複数の露光サービスを提供することができ、100nm以下の画像機能を提供できます。この装置は、光学テーブル、精密に校正されたモーションシステム、光源、アライメント精度の検出器、ウェーハステージ、ウェーハホルダーで構成されています。光源は紫外線、可視光、またはIR光に設定でき、ウェーハの均一で高解像度の照明を提供します。モーションユニットは、アライメント精度のための空間変換に関連する異常やエラーを最小限に抑えるように設計されています。このマシンは、高精度で選択したアライメントポイントに移動する機能を備えており、ウェハを迅速かつ安全にロードおよびアンロードすることができます。KARL SUSS MA 100 Eには、個々のフォトマスク機能の正確なアライメントを提供する自動コリメーターカメラと、パターン化されたウエハを検査、表示、測定するためのCCDカメラが付属しています。さらに、ウェハ上の個々の特徴特性を調べるために使用できる温度制御顕微鏡の目的も含まれています。MICROTEC MA 100 Eは、高度なリアルタイムエラー補正ツールを活用し、印刷プロセス全体で高い登録精度を実現しています。また、8ビットのGray Codeプラットフォームを備えており、オートフォーカス、スタートアップキャリブレーション、リアルタイムイメージサービング、および最高レベルの精度の自動露出を組み合わせています。より正確な調整のために、刻印のための正確なパターンを設定するための微調整ホイールがあります。MICROTEC MA 100Eは汎用性が高く、ウェーハ製造用のパターン層の作成など、さまざまな用途に使用できます。このモデルは、歪みやピクセル化なしで10nmの高分解能ライン幅をインプリントすることができます。また、MA 100Eはプロトタイピングやプロトタイプベースの生産にも使用できます。パターン化されたウェーハの表面検査用の深度プレスキャニングおよびイメージング装置を備えており、多種多様なイメージング、検出、パターン測定装置の設置が可能です。全体として、KARL SUSS MA 100Eマスクアライナーは、幅広い生産アプリケーションに信頼性の高い正確なリソグラフィープロセスを提供します。ウェーハの素早い積み下ろしと目視検査のための設備と組み合わせて、高い登録精度を提供します。KARL SUSS/MICROTEC MA100Eはシンプルで直感的なシステムで、ピクセル化や歪みのない10nmまでの線幅の特徴を正確にパターンアライメントし、正確にイメージングできます。