中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293668185 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Alignerは、精密でリソグラフィック的にパターン化された基板の微細加工に使用される最先端のデバイスです。このマスクアライナーは、プリパターンされたマスクを基板上に正確に配置し、紫外線にさらされて基板上に所望のパターンを生成するために使用されます。MICROTEC MA100Eは、x、 y、 z方向に動作し、コンピュータ化されたインターフェイスを介して制御される精密な動作を備えています。これにより、基板上にマスクを正確に配置することができます。高精度で自動化されたサンプルハンドリング機構を備えており、厚いサンプルを使用してもアライメントが正しいことを保証します。また、調整可能な高さシャッターを備えており、より大きな基板を装置に使用することができます。また、2つのフォーカシングメカニズムにより、さまざまな倍率でクリアな画像を撮影することができます。KARL SUSS MA 100 Eマスクアライナーは、x、 y、 z軸の高精度な可動ステージを採用しています。これにより、ナノメートルレベルの精度で基板上にマスクを確実かつ迅速に配置することができます。マスクと基板と接触しているステージの領域は、ラップされ、基板とマスクの間に良好な接触を維持するために機械加工された放電され、正確なアライメントを提供します。パターン歪みを低減するために、MA100Eには2つの別々のコンポーネントで構成される特許取得済みのプリアライメントシステムが装備されています。1つのコンポーネントはリファレンスマーカーを使用してステージ位置エラーを修正し、もう1つは特許取得済みの固定光学アライメントユニットを使用してチップとマスク間のアライメントを実行します。これにより、オペレータの誤差を最小限に抑えながら、短時間で正確な処分が達成されます。MA 100E Mask Alignerは多目的で信頼性の高い機械で、基板のパターン化に優れた解像度を提供します。MICROTEC MA 100Eは、高い精度と精度で業界最高品質のリソグラフィ結果を提供します。