中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293623405 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、フォトリソグラフィ、紫外線露光、電子ビーム露光などの幅広い操作に適した高度でユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。アライナーは、効率的な1軸モジュラープラットフォーム上に構築されており、最大20ミクロンの高速かつ正確なアラインメントのための頑丈なGクランプ装置を備えています。MICROTEC MA100Eは、350 mmステージ、8インチ手動露光ステージ、および光学アライメントと統合された正確なウェーハレベリングシステムを備えています。このユニットは、複数のレイヤーアプリケーションで正確なイメージングを実現するために、さまざまなレベルのプロセスレイヤーを正確に露出させることができます。KARL SUSS MA 100 Eには、レーザーイメージング、強度制御機、ビーム均一性、シャッター露光時間などの標準露光光学など、さまざまな光学露光機能が搭載されています。また、0。1ミクロンの高解像度露光精度で迅速な画像処理を可能にする自動露光ツールを提供しています。マスクアライナーには、露出チャンバーの汚染を排除し、密閉アライメントを確実にする真空吸引アセットも付属しています。MICROTEC MA 100Eには、スキャン曲線、高さマッピング、動的アライメントモードなどの多目的アライメント機能を提供する直感的で強力なアライメントソフトウェアパッケージも装備されています。これらの機能により、レチクルの迅速かつ正確なアライメントが可能になり、スループットと生産性が向上します。このソフトウェアは、露出結果を正確に分析するための画像キャプチャ機能も提供します。全体として、MA100Eは半導体産業の高度な露出プロセスに最適な信頼性と汎用性の高いマスクアライナーです。高効率の1軸モジュラープラットフォームと直感的なソフトウェアパッケージにより、生産歩留まりの向上に伴う正確かつ迅速なアラインメントを実現します。