中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293607936 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、高度なウェハレベルのデバイス製造に使用される精密マスクアライナーです。1 μ mの分解能と0。7 σ mの3 μプロセス制御に基づく均一性を有しています。この装置は、高速アライメント、in-situタスクスイッチング、および高度な処理を可能にする、全面的なオーバーレイアライメント方式で設計されています。発電機は6インチまたは8インチのワークサイズの5つのヘッドを使用し、クイックチェンジロボットを介して素早く変更されます。14ビットのADCと13ビットのDACを備えており、利得は12.5dBです。機械のステップおよび繰り返しの正確さは0。2 μ mの内にあり、登録の正確さは0。3 μ mの内にあります。フィールドサイズは調整可能で、最小フィールドサイズは0。6mm、最大200mmです。MICROTEC MA100Eのシステムコントローラは、洗練されたマルチプロダクトプログラミング、複数の設計データベースエントリを定義する機能、およびプロセスデータベース内の製品をカバーする統合データベースを提供します。データをデータベースに入力してリピート生産することができます。このデバイスは、高度なレチクルステッチ、高速ビジョンフォーカス、コーナーステッチ、便利なタッチスクリーン制御など、さまざまなイメージングツールを提供しています。フォトマスキングユニットとのアライメント登録機能を備えており、さまざまな基板上で迅速かつ正確なアライメントを提供します。高精度のメカニクスは、高いアスペクト比で高度な構造をサポートし、ステップアンドリピートのオートフォーカスにより、正確な画像転送と登録を保証します。高度なリソグラフィーマシンは、足場を必要とせずに、小さな構造物の高精度なアライメントと露出を可能にします。KARL SUSS MA 100 Eは、高速かつ正確なアラインメントを提供し、全体的なスループットと歩留まりを向上させます。その直感的で使いやすいソフトウェアは、高品質のウェーハ製造を保証し、非常に高解像度の画像を生成することができます。高精度の性能と統合されたデータベースにより、デバイス製造におけるトップレベルの生産に最適です。