中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293601791 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 100Eは、半導体ウェーハなどの基板への応用に向けたフォトリソグラフィーサービスを提供するために設計されたマスクアライナーです。精度と再現性に優れた精密位置決め装置です。MICROTEC MA100Eは、半導体基板上の微小部品や部品の正確なアライメントを必要とする研究目的に最適です。1ミクロンの精密アライメント精度でマスクパターンで基板を露出±ことができます。露出ツールの選択を通じて汎用性を提供します。これには、オートフォーカス6"マスクホルダー、6"ステッパー、または6"スキャナーが含まれます。ステッパーとスキャナーには、さまざまなマスクサイズで使用するためのさまざまなレチクルがあります。KARL SUSS MA 100 Eのアライメントテーブルはモーター式で、精密グリッド位置決めシステムを備えており、基板とマスクの正確かつ再現可能なアライメントを保証します。オートシャッター機能により、迅速かつ正確なアラインメントが可能です。この機能は、データ入力とプログラム選択を容易にするソフトタッチキーパッドによって有効になります。KARL SUSS MA100Eは、アライメント用と露光用の2つの光学システムで設計されています。アライメントシステムには、エンコーダと連動して動作する半逆ビデオ顕微鏡が装備されています。露出システムは自動化されたシャッターが付いている優秀な紫外線ランプです。MICROTEC MA 100Eには、プログラミング、データ入力、プロセス制御、アライメントを容易にする包括的なソフトウェアが付属しています。露光強度、マスクの近さ、露光プロセスのタイミングを制御することができます。MA100Eは高精度/高スループットの適用のためになされます。製造プロセスは、最高品質基準を認証するために、一連の内部テストの対象となります。このアライナーは、CEおよびSEMI S2-9001を含む最新の安全規格に準拠しています。