中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9180520 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006は、要求の厳しいフォトリソグラフィ要件を満たすように設計された高精度で完全に自動化されたマスクアライナーです。この高度なツールは、高解像度の6インチおよび8インチのフォトリソグラフィ作業に最適です。シリコン、金属、ガラス、複合材料などの基板上に集積回路、MEMSなどのデバイスを作成するのに最適です。このツールを使用すると、マスクを0。5ミクロンまでの分解能と100ミクロンまでの焦点深度で正確に揃えることができます。また、GDSIIやOpenAccessなどの業界標準フォーマットからデータを柔軟にインポートできるため、迅速かつ簡単なセットアップが可能です。MICROTEC MA 1006は、粗くて微細なアライメントのための電動光学システムを備えており、優れた再現性と精度を提供します。さらに精度を高めるために、KARL SUSS MA-1006はオプションのマルチアングルバージョンを提供し、アライメント角度を1から5まで調整できます。精密オートメーションソフトウェアを使用すると、パラメータを作成、編集、監視することができ、最も要求の厳しいアライメント要件でも最大限のプロセス精度を保証できます。このシステムには、統合された計測ステーションが含まれており、リアルタイムのアライメント制御を提供するだけでなく、サブリニア性能でアライメント結果を分析および文書化するためのフルレンジの機能も備えています。さらに、フォトレジストディスペンスや露出後ベーク（PEB）などの高度な技術を使用して、ユーザーはウェーハスループットを最適化することができます。また、イーサネット、USB、シリアルポートなどの通信プロトコルを完全に補完するなど、幅広い入出力機能を備えています。そのユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、データ処理とセットアップを簡単かつ効率的にします。このマスクアライナーは非常に堅牢で、最低限のメンテナンスで信頼性が高く、安全で安定した動作を提供します。それに安全な労働環境のための手動および電気安全締切りボタンが付いている高度の安全システムがあります。MA-1006は完全にアップグレード可能で、オーバーレイ精度の向上、より大きなシート形式、高度なオートメーションツールなどのオプション機能で構成することができます。