中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9006500 を販売中
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ID: 9006500
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligner, 6"
(1) Micron resolution on 6" wafers
Split field microscope with (6) objectives
1000 W Power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006は、半導体デバイス製造などのマイクロリソグラフィ用途において、信頼性の高い正確なマスクアライナーシステムです。光学レンズと2軸アライメントシステムを使用して、マスクと基板を正確に揃えます。ボトムビューカメラは、ユーザーがステージに自分のマスクを提示するのに役立ちますが、トップビューカメラは基板を正確に配置するのに役立ちます。MICROTEC MA 1006は、2.5µm下の形状を持つデバイスに不可欠な2µmの最小アライメント誤差を達成することができます。KARL SUSS MA-1006には、信頼性を高め、生産プロセスのエラーを最小限に抑えるさまざまな機能があります。プログラム可能なアライメントプロセス画面は、ユーザーの仕様に応じてマスクと基板の完全な画像キャプチャと移動を可能にします。内蔵のフィルターは、光学系からのノイズを排除するのに役立ち、5nm分解能のモーションコントロールは、アライメントの精度を確保するのに役立ちます。MA 1006にはオートフォーカス機能が搭載されており、収差補正やマスクフォーカス制御にも使用できます。KARL SUSS MA 1006は人間工学に基づいたデザインで、快適に使用できます。頑丈な光学は耐久性を高め、正確さを保障するために温度安定しています時きれいになりました。また、他の機器との容易な統合を容易にするために、さまざまな接続ポートが含まれています。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MA-1006は強力で信頼性の高いマスクアライナーです。その高度な機能、精度、使いやすさは、高精度の半導体デバイスの製造に最適であり、生産プロセスを短縮します。適切なメンテナンスにより、このマスクアライナーは長年の信頼できるサービスを提供する可能性があります。
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