中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792883 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006は、サブミクロン基板および特定集積回路（IC）用途の接触露光リソグラフィに最も一般的に使用されるマスクアライナーです。このマスクアライナーは、10 µm （0。00004インチ）解像度と196 mm （7。7インチ）プロセスサイズから幅広いアライメント精度と露出範囲を提供し、8インチウェーハを完全に使用できます。MICROTEC MA 1006は、並列露光リソグラフィ用に設計されており、2つの独立した固定スキャンステージと2つの独立して制御されたプログラム可能な露光ステージが含まれています。スキャン段階は、自己完結型シャッター、自動化されたヒートスイッチ、フィーダーアーム、統合されたデガウスと組み合わされます。自動化されたヒートスイッチにより、機械は高温と低温の範囲で動作しますが、統合されたデガウス装置は、さまざまな基板における最大の露出を保証します。露出段階は精密ステッピングモーター駆動とプログラム可能な露出時間を備えていますが、フィーダーアームによりマシンを素早くセットアップして実行できます。KARL SUSS MA-1006には、基板の露出位置を検出できるフォトセルや、マスクとの正確なアライメントを可能にする明るいフィールド検出器など、さまざまな特長があります。さらに、マシンは複数のオペレーティングシステムを実行することができ、マスクのセットアップと露出の最適化のためのより少ない複雑なソフトウェアが利用可能です。KARL SUSS MA 1006は高精度のデバイスで、高解像度で再現性のある結果を提供できます。高度な画像処理と制御システムを備えており、高精度な結果を得ることができます。この制御システムには、最先端の温度モニタと制御、電源と環境モニタリング、精密アライメントシステム、および接触露出が含まれています。これにより、MA-1006は幅広いリソグラフィ用途に最高レベルの精度とスループットを提供することができます。