中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792236 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006は、フォトマスク、パターン化されたウエハ、フォトリソグラフィープロセスの基板の正確なアライメントに使用されるプログレードマスクアライナーです。この高精度なマシンは、フォトリソグラフィ設計のアライメントと露出を制御するパラメータを厳密に制御するように設計されています。MICROTEC MA 1006は、光学部品、機械部品、電気部品のユニークな組み合わせを利用して、多様な材料のパターンを正確に整列させます。テレセントリックCr -x-Si-Zeissカラムは、フォトマスクのパターンを取得するための光学パワーを提供し、コンピューター制御ステージは、パターン化された基板とマスクを正確に互いに相対的に正しい位置に配置します。KARL SUSS MA-1006は、最高レベルの精度を確保するために、バックリフレクションイメージング、露出の中断、ステージファインチューニングを組み込んだクローズドループのアライメント装置を使用して、フォトリソグラフィープロセスの仕様を満たすか上回るアライメント精度を保証します。KARL SUSS/MICROTEC MA-1006は、均一で反復可能な照明露光と、石英、溶融シリカ、クロムオンガラスなどのさまざまなフォトマスク材料を提供するように設計されています。4インチから8インチまでの基板サイズに対応できます。デジタルメトロロジーシステム（DMS）はマシンと統合されており、露出する前にフォトマスクを正確に正確に配置するのに役立ちます。このユニットは、スループットと精度を向上させるために、複数の露出サイクルをプログラムして実行する機能も提供します。MICROTEC MA-1006は、高出力LED、アーク、レーザーなどのさまざまな照明ソースを備えています。また、ユニークなUVShadow Shieldは、露光中の野良紫外線から保護します。感光膜厚は0。5um〜6。5um、 9軸モーションコントロールマシンが可能です。この機械は誘電体、水晶のクロム、ガラスのクロム、ケイ酸のクロム、および他の高度のフォトマスクのタイプを含む広い種類のフォトマスク材料と互換性があります。MA 1006は人間工学と安全性を念頭に設計されており、使いやすいです。19 インチTFT液晶タッチスクリーンを備え、使いやすさのための包括的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このマスクアライナーはまた、さまざまなソースからの基板とフォトマスクの再現性と正確なアライメントを提供し、スループットを向上させ、フォトリソグラフィープロセスのコストを削減するための強力なツールです。