中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293774924 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA 1006は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用される精密マスクアライナーです。MEMS （Microelectromechanical Systems）、先進半導体デバイス、マイクロオプティクスなど、幅広い用途に最適な汎用性と信頼性の高いツールです。MICROTEC MA 1006は、様々なステッパー/スキャナー投影光学と動作し、平面と3Dマスクの両方を保持することができるa6軸マスクアライナーです。広い視野を持ち、様々なサイズのマスクを揃えることができます。KARL SUSS MA-1006のアラインメントヘッドは、XY、 YZ、 XYZ、 XZ平面変換、およびX、 Y、 Z軸の回転アライメントを可能にします。MICROTEC MA-1006は、ナノメートル解像度の内蔵Zモーターを使用した手動またはプログラム可能なZフォーカスドライブも備えています。マスクアライナーには多くの重要な機能が含まれており、高精度な結果を得ることができます。これには、正確なアライメントのためのジョイスティック、視覚アライメントのための組み込み顕微鏡カメラを含む高度な制御および測定機器が含まれています。KARL SUSS MA 1006には、精度を向上させるためのビジョンベースのオートフォーカスシステムと、最高の再現性を実現する高精度XYスキャンユニットがあります。マスクアライナーには、コンタクトイメージングの0.5µm解像度、非接触画像の0.8µmを実現する高性能プロジェクションレンズを搭載しています。さらに、KARL SUSS/MICROTEC MA-1006には、緊急停止スイッチや電源障害復旧機などの安全機能が内蔵されており、予期しないイベントからマシンとサンプルを保護します。全体として、MA 1006は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用するために設計された信頼性の高い正確なツールです。精密なアライメントとイメージング機能を幅広く提供し、安全で効率的な操作を保証する多数の機能を備えています。
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