中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 1 #293625570 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 1
ID: 293625570
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1は、フォトリソグラフィおよび半導体産業、特に微細加工およびナノ加工において重要なツールです。それはマスクアライナー、極端な精度で表面に画像を投影して登録するために使用される光学ツールです。マスクアライナーは、メインオプティカルヘッドとフレキシブルアームで接続されたベースユニットで構成されています。主な光学ヘッドは、投影レンズとパターンマスクを含むサンプルチャックを保持しています。パターンマスクと基板が適切に整列し、サンプルチャックが従事している場合、投影レンズはパターンマスクをサンプルに投影します。パターンマスクは、微細加工やナノ加工時にパターン設計の柔軟性を高めることができます。MICROTEC MA 1は、手動モード、半自動モード、全自動モードを備えており、パターンマスクを高精度かつ高精度に配置および整合させることができます。精密顕微鏡により、パターンマスクとサンプルの手動アライメントが可能です。X-Yマニュアル調整可能なステージとマイクロメーターにより、投影システムがサンプルと完全に整列します。さらに、登録マークとポジションを格納するストレージシステムを備えており、オペレータがマスク間を迅速に変更できるため、プロセスのスループットが向上します。MA 1は、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造と製造に役立つ信頼性の高い高精度イメージングを提供します。様々な基板にパターンを正確に再現することができるため、フォトリソグラフィ、ナノファブリケーション、半導体産業において非常に貴重なツールとなります。高精度の光学アライメントにより、最高の品質と精度で製品を構築することができます。
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